离子束锤击（ion hammering），工学-核技术-〔纳米科学中核技术〕，低温下，高能重离子轰击无定型材料，使之发生形变的技术。随着轰击离子的流强增加，材料在垂直于束流方向增长，而在平行于束流方向收缩，材料的质量密度仍保持恒定。当入射离子的电子能损超过一定的阈值，离子束锤击效应就变得非常显著。对于硅，当轰击的离子能量为兆电子伏时，其阈值为2.5千电子伏/纳米。1983年，离子束锤击效应第一次在实验中被观察到。德国科学家S.克劳蒙泽（S.Klaumünzer）等人在柏林的VICKSI加速器上进行360兆电子伏的氪离子轰击钯80硅20（Pd80Si20）金属玻璃（非晶合金）实验时，发现金属玻璃发生了宏观的形变。随着研究的深入，最后该现象被命名为离子束锤击，它形象地描述了离子就像一个个小锤子锤击样品，使之发生形变。离子束锤击作为一种可以在纳米尺度改变材料形状的方法，在纳米技术领域受到了广泛的关注。它可以作为一种纳米制备手段，控制电介质纳米胶质或者嵌入电介质基底的金属纳米粒子的形状以及空间朝向。