金刚石多晶薄膜

（材料科学技术）

金刚石多晶薄膜（polycrystalline diamond film），材料科学技术名词，用低压或常压化学气相沉积方法在固相基片上沉积形成的大面积薄膜状金刚石。通常为多晶结构。