电子微探针分析

（材料科学技术）

电子微探针分析（electron microprobe analysis），材料科学技术名词，用电子束轰击试样表面，使组成元素产生特征X射线，分析波长和强度，从而获得固体试样中各微区内(约11m)的元素组成、含量及其分布情况的一种分析方法。