离子中和化谱法是用单能惰性气体离子束轰击试样表面，当入射的离子从试样的表面的原子中获取一个电子而被中和时，能激发出俄歇电子，通过测量该俄歇电子的能谱，分析试样表面电子状态、吸附状态、成分和能带的电子能谱法。稀有气体或惰性气体是指元素周期表上的18族元素(IUPAC新规定，即原来的0族)。在常温常压下，它们都是无色无味的单原子气体，很难进行化学反应。天然存在的稀有气体有六种，即氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)和具放射性的氡(Rn)。而Og是以人工合成的稀有气体，原子核非常不稳定，半衰期很短(5毫秒)。