面形检测

面形检测（surface characterization testing），工学-光学工程-材料与器件-光学设计与加工-光学检测-面形检测，通过一定手段对光学表面形貌进行检测，获得其表面面形与理想面形误差的方法。对光学元件进行高精度的检测成为光学系统正常有效运转的前提，光学检测水平决定了光学加工的水平。光学元件面形检测的方法主要有：①干涉检测，自从20世纪60年代激光器问世以后，由于有了相干性极好的光源，干涉测量技术在光学测量中逐渐占有重要的地位。干涉测量是基于光波叠加原理，当两支光满足频率相同、振动方向相同以及初相位恒定的条件时，叠加在一起将发生干涉现象，干涉场中产生亮暗交替的干涉条纹，它是干涉场中光程差相同点的轨迹。根据干涉条纹形状、方向、疏密以及条纹移动等情况，可获得被测量的有关信息。②原子力显微镜检测，固定住对微弱力敏感的微悬臂一端，另一端有微小的针尖。当针尖接近样品时，针尖得到一个很小的微弱拉力，使针尖最后一个原子和样品表面附近最后一个原子之间产生作用力。作用力使弹性微悬臂弯曲，此弯曲运动由扫描隧道显微镜或用光学方法检测。