本征吸除

（材料科学技术）

本征吸除（intrinsic gettering），材料科学技术名词，利用硅片自身的因素引起的吸除效应。如采用高?-?低?-?高三步热处理工艺在硅片内部形成高密度的氧沉淀，吸除硅片有源区有害杂质。