三探针法

（材料科学技术名词）

三探针法（英语名：three-probe measurement）是2011年公布的材料科学技术名词。以直线排列的三支金属探针与半导体外延样品表面接触，测量反向电流?-?电压特征，从击穿电压计算掺杂浓度再换算电阻率值的电学测量技术。