泵的极限压力为10-7～10-8帕，工作压力范围为10-1～10-7帕，要求预抽压力为1帕。泵不消耗氦气﹑操作简便﹐易于维修﹐应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦﹐一级冷板温度为50～100K﹐用来冷凝水蒸汽和预冷其它气体﹔二级冷板温度为10～20K﹐用来冷凝氮﹑氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500～2500米2/克﹐在低温下对氦﹑氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成﹐表面抛光达到镜面程度﹐以减小辐射系数。泵的极限压力为10-7～10-8帕﹐工作压力范围为10-1～10-7帕﹐要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒(1升=10-3米3)。此外﹐尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内﹐其抽气速率可达到106 升/秒以上。