光电法是通过光电转换原理测量偏距，波带板激光准直、尼龙丝准直系统和激光准直系统都属于光电法。波带板激光准直中最典型的三点法波带板激光准直系统，在需要测量偏距的测点上安置波带板，激光器点光源发射的激光照满波带板，通过光的干涉原理，将会在光源与波带板连线的延长线的某点形成一个亮点或十字线。波带板激光准直法属于一种光的干涉。尼龙丝准直系统由直径0.25mm的尼龙丝、带有探测器的尺子及控制装置三部分组成。尼龙丝采用点针对中在两基准点间拉紧形成一条基准线。带有探测器的尺子强制对中在基准点的插座中，保持水平并与尼龙丝垂直，建立起过基准点中心且垂直于尼龙丝的垂线，探测器的分辨率为0.001mm。