微等离子体

微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内 (尺度为毫米量级甚至更低 )的等离子体，兼具了常规等离子体的一些特性，但由于放电尺寸缩小到毫米量级甚至更低,使得微放电等离子体通常能够运行在大气压条件下。