扫描近场光学显微术（near-field scanning optical microscopy），工学-光学工程-光学应用-光学测量-微纳米测量-近场光学，通过检测物体表面的隐失波，突破传统光学衍射极限的限制，获得纳米结构的高分辨形貌图像的方法。基于近场光学原理发展起来的一种光学显微技术。扫描近场光学显微系统采用带有亚波长孔径的微小探针取代传统光学显微镜中的透镜，将激光会聚在样品表面。当针尖与样品间距在几十纳米以内时，激光近场照射产生的隐失波因针尖和样品表面微细结构的相互作用再次激发产生向远处辐射的传导波。这部分由隐失波转换而来的传导波携带有反映样品表面微细结构的信息，可借助位于远场适当位置的光电探测器接收。探针相对于样品表面扫描并依次拾取各点信号即可重构样品表面的准三维图像。形貌图像的横向分辨力由光斑尺寸和扫描步长决定。采用压电陶瓷扫描器时，扫描步长可以在1纳米以内；近场范围内光斑的尺寸仅取决于针尖孔径，通常可以控制在几十纳米。因此，扫描近场光学显微技术的横向空间分辨力可以达到几十纳米或更小。其纵向分辨力与纵向反馈机制有关，一般在几纳米。扫描近场显微术的概念最早见于1928年。