高分辨率X射线衍射（high resolution X ray diffraction），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-半导体材料性能检测-[结构检测]，使用平行光束光学器件来获取高的分辨率的X射线衍射技术。简称HRXRD。X射线衍射（XRD）是一种非破坏性的材料测试技术，可以分析材料的厚度、晶格常数、晶体取向、结晶完整性、均匀性、组分、应变、缺陷和界面等一系列有关材料结构和晶体质量的信息。X射线衍射的基本原理是布拉格定律，只有符合布拉格公式（）的晶面才能发生衍射。式中为晶面()的晶面间距；是布拉格角；为X射线波长。HRXRD由高分辨率衍射仪器引入的衍射峰宽化部分非常小（衍射峰的峰宽由仪器引入和样品引入两部分组成），能更精确地分析样品本身产生的衍射峰。由于测试精度高、方法简便，HRXRD已经广泛应用于多层结构的测试分析，可以确定三元甚至多元化合物的组分，不同组分层的晶体质量以及异质外延薄膜的应力状态。HRXRD有双晶X射线衍射和三晶X射线衍射两种。两者的区别是三晶X射线衍射在样品和探测器之间增加了一个分析晶体。HRXRD测试中常用的扫描模式有模式、模式和模式。