微晶硅薄膜太阳电池（microcrystalline silicon solar cell），工学-工程热物理及动力工程-可再生能源与新能源利用-可再生能源-太阳能-太阳电池，由晶化率在40%～70%范围内的纳米晶粒、晶粒间界和空洞组成的混合相无序半导体电池。电池用微晶硅晶粒在10纳米左右的本征光吸收多晶硅材料，其带隙略大于单晶硅，光吸收系数介于晶体硅和非晶硅之间，电子和空穴迁移率均高于非晶硅两个数量级以上。微晶硅薄膜具有高电导率、高吸收系数和无明显光致衰减现象等特点，可将光谱响应扩展到红外区域，其电池工作原理是利用微晶硅吸收光能实现光电转换。微晶硅薄膜易于大面积成膜而且光照下微晶硅薄膜的稳定性远高于非晶硅，是国际公认的新一代半导体硅基薄膜太阳电池材料，具有较高的光电转换效率和较高的稳定性，太阳电池在长期的光照下光电性能几乎没有明显的衰减。制备微晶硅薄膜可以采用反应溅射法、等离子增强化学气相沉积法和低压化学气相沉积法等，但一般主要采用高频或射频等离子体增强化学气相沉积方法。