非晶硅薄膜太阳电池

非晶硅薄膜太阳电池（amorphous silicon solar cell），工学-工程热物理及动力工程-可再生能源与新能源利用-可再生能源-太阳能-太阳电池，硅原子呈非晶形态，即电池内部硅原子在空间的排列为长程无序、短程有序的一种硅太阳电池。非晶硅薄膜太阳电池具有如下优点：①非晶硅具有较高的光吸收系数，特别是在0.3～0.75微米的可见光波段，其吸收系数比单晶硅高出1个数量级；②非晶硅的禁带宽度比单晶硅大，开路电压在1.5～2.0伏范围内变化；③非晶硅的制备工艺和设备简单，沉积温度低，时间短，适合批量生产。非晶硅薄膜太阳电池的制备技术有多种，常见的是辉光放电法，还有反应溅射法、电子束蒸发法、低压化学气相沉积法和电子回旋共振等离子体法等。辉光放电法是在真空腔室充入氢气或氩气稀释的硅烷，用直流或者射频电源使反应气体电离，形成等离子体，含硅基团落在加热衬底上并通过一系列表面反应形成非晶硅薄膜。