离子束材料结构调控

离子束材料结构调控（control of material structure by ion beam implantation），工学-核技术-〔离子束技术〕，通过采用不同种类、能量、注入量的离子束注入调控材料结构的技术。离子束材料结构调控包含物理和化学等多种手段。其特点是精密调控材料结构，比较好地使用高能聚焦离子束。产生聚焦离子束的设备中，可以通过加速器电压控制离子速度或能量，可通过磁场偏转精确控制离子的方向，通过圆孔遮挡调节发散角，可通过计算机精确控制辐照时间。聚焦离子束调控是加工复杂三维结构非常有效的手段。离子束微加工的精度高，离子刻蚀可达纳米尺度，离子镀膜可达亚微米尺度。离子束注入浓度和深度可精确控制，真空中进行特别适合易氧化的金属、合金和半导体材料的结构调控。离子束材料结构调控将成为材料精细加工的重要手段之一。