振动环式硅微陀螺仪
(工学 | 航空宇航科学与技术)
振动环式硅微陀螺仪(vibration ring silicon micro gyroscope),工学-航空宇航科学与技术-航天-导航、制导与控制-导航-惯性导航系统-陀螺仪-微机电陀螺仪,微机电陀螺仪的一种结构形式,是半球谐振陀螺的简化结构形式。与半球谐振陀螺相比,除了保持半球谐振陀螺敏感结构全对称、高精度、环境适应性好,适合应用在性能要求较高并且环境恶劣的航天及军事等领域外,还具有结构简单、可靠、体积小、便于批量化集成制造等特点。
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