离子沟通道背散射谱
(冶金学)
离子沟通道背散射谱(ion channelling backscattering spectrometry),冶金学名词,卢瑟福背散射与离子沟道效应相结合,对单晶样品近表面层的结构或掺杂原子的占位进行分析的方法。用于研究晶体表面结构,测定晶格损伤,确定杂质原子在晶格中的位置等。
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