激光椭偏仪

（仪器仪表）

激光椭偏仪，通常激光光源的功率和波长可选。在测量过程中，需要以获得椭偏数据，并对椭偏数据模拟分析从而得到测量结果，如薄膜厚度、光学常数以及材料微结构测量等。■晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量。