光学散焦式轮廓仪（misfocusing optical profiler），工学-光学工程-光学应用-光学测量-几何量测量-光纤陀螺惯性导航，通过探测光束散焦量来进行物体表面粗糙度测量的方法。光源出射光经准直后通过分光镜，由聚焦物镜将光束聚焦为一光点至被测表面，在被测表面反射后经物镜和分光镜至检测透镜，在检测透镜和四象限光电探测器之间放置一柱面镜。被测表面的起伏变化使光束由平行光变为发散光或会聚光，在光电探测器上出现散焦现象。通常采用像散法来检测散焦量。光束通过柱面镜后照射到四象限光电探测器上，通过探测其光点形状变化情况来判断光点正焦、近焦或远焦。光电探测器所输出的信号输入物镜位置控制系统对物镜进行控制，使其重新对焦。测量出物镜的位移量，即可得到被测表面起伏变化信息。