音叉式硅微陀螺仪（tuning fork silicon micro gyroscope），工学-航空宇航科学与技术-航天-导航、制导与控制-导航-惯性导航系统-陀螺仪-微机电陀螺仪，微机电陀螺仪的一种典型结构，音叉式硅微陀螺仪的谐振陀螺敏感质量振动采用音叉的结构设计，具有较高的振动Q值，通常采用静电驱动和电容检测方式工作。因为结构、原理简单，易于平面工艺制造，首先进入实用化阶段，用于军民各种领域的惯性测量系统中。主要由驱动模块和检测模块构成，驱动方式采用推挽的驱动方式，利用差分检测方式检测垂直方向的振动幅值，对应为输入角速度的大小。