离子背散射分析（ion back scattering analysis），工学-材料科学与工程-材料基础-材料表征与分析-[核技术分析方法]，一种利用高能加速器产生的高能离子束分析薄膜或固体近表面层化学成分的表面分析方法。又称卢瑟福背散射分析（RBS）。当用加速器产生一束具有一定能量的离子垂直射入样品，大部分离子在前进中与样品中的原子核或核外电子碰撞，改变运动方面，逐渐损失其能量，最终停止在样品中。只有少数足够靠近样品中原子核的离子，受库仑排斥作用发生大角度的弹性散射，返回并飞出样品表面，这些离子称为背散射离子。这就是卢瑟福弹性散射过程。当入射能量和散射方向固定时，散射离子的能量与靶原子的质量有关，也与入射离子在靶表面下的深度有关，因此，在散射离子的能谱中含有上述信息。用离子探测器探测这些散射离子的数量和能量，可以得到一个离子背散射谱。可以对靶原子进行定性、定量及深度（纵向分布）分析。由于离子在固体材料中的射程很小，所以背散射是一种表层分析方法，适用于分析约1微米左右的表层范围。它的主要优点是可以进行深度分析和在没有标准样品的情况下进行定量分析。