超光滑表面检测（ultra-smooth surface detection），工学-光学工程-光学传输-紫外光学-紫外-极紫外光学系统检测与定标-紫外-极紫外单元技术-检测技术，对超光滑表面进行查验测定的措施，检测不同频率范围的表面粗糙度。在紫外-极紫外光学技术中，由于工作波长变短，光学系统衍射极限变小，但是散射的影响变得越发明显和严重。为此，在做紫外-极紫外波段光学系统设计时，需要光学表面粗糙度更小，保证对成像或者分光的影响更小。需要在原有光学加工基础上，再做超光滑表面抛光，达到1纳米以下的超光滑程度。常用的超光滑表面检测仪器有原子力显微镜和白光干涉仪。原子力显微镜的测试原理：针尖与样品表面轻轻接触或者轻敲时，针尖尖端的原子与样品表面的原子之间会产生极微弱的排斥力，悬臂会产生偏移。将针尖装在对纳牛级别微弱力极敏感的悬臂一端，悬臂的另一端被固定。针尖在样品表面扫描时，随着样品的表面起伏，悬臂也相应地会产生一定的偏移量，将这些偏移量做记录，就会得到样品表面的粗糙度信息。由于针尖直径只有几纳米，因此它有纳米级的分辨率，可获得高空间频率的粗糙度信息。