在线波像差检测（on-line wave aberration inspection），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻机测量系统，基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。在线波像差检测主要应用在光刻机中，投影物镜安装过程中对投影物镜像差进行精确测量，并反馈给投影物镜进行波像差调整。投影物镜验收过程中，对投影物镜像差进行精确测量，并确定投影物镜的波像差性能是否满足要求。在光刻机量产过程中，快速测量投影物镜波像差并反馈给投影物镜进行像差调整。当测量投影物镜波像差时，在掩模面放置漫射光学元件以及透镜，从而使得光束均匀地充满整个投影物镜光瞳。在投影物镜物面上放置衍射光栅，产生不同级次的衍射光，在光强探测器形成干涉条纹。IS分系统采用横向剪切干涉仪的基本原理，干涉条纹由测量光与测量光的横向剪切光之间干涉产生。掩模上的点光源产生的球面波，经过投影物镜，成像于像面上，并利用像面上放置光栅从而实现剪切干涉。