等离子体灭菌（plasma sterilization），工学-电气工程-﹝电工新技术﹞-放电等离子体-，采用等离子体对细菌、真菌、病毒进行灭活的技术。通常指采用冷等离子体在常温条件下进行灭菌。1996年，美国老道明大学的M.拉鲁西（Mounir Laroussi，突尼斯-美国）在美国电气电子工程师学会等离子体科学学报上发表了世界上第一篇关于等离子体射流灭菌的文章，从此，等离子体灭菌受到广泛的重视。研究结果表明，等离子体对于各种细菌（革兰阴氏菌、革兰阳氏菌、细菌孢子、细菌生物膜、真菌等）都具有较强的灭活能力。等离子体含有大量的带电粒子、亚稳态粒子、紫外光子以及其他化学活性粒子（活性氧和活性氮），这些活性粒子综合作用到生物体，使得细胞骨架的微观结构或者蛋白质等大分子物质、遗传物质（DNA、RNA等）的结构或性质、微生物体内的细胞质体等发生变化，从而使微生物失活或者使其遗传性状发生改变，或者通过促使相关的酶活性发生改变，使活体组织的新陈代谢发生改变，从而达到灭活细菌的目的。等离子体具有广谱灭菌、灭菌速度快、对环境污染小等优点。