反射光学系统（reflective optical system），工学-光学工程-光学传输-紫外光学-紫外-极紫外光学系统检测与定标-紫外-极紫外单元技术-光学设计，按照某种方式排列使光线按一定目的要求反射的一系列光学元件组合。在紫外-极紫外波段使用的反射光学系统与可见、近红外波段光学系统类似，几乎可以使用所有的光学系统。在紫外-极紫外波段，所有材料的反射率都很低，尤其是极紫外波段所有材料的反射率极低，从千分之几到万分之几，通常的光学表面无法使用。因此，在紫外-极紫外光学系统设计时，需要采用光学表面上镀制多层膜的反射镜，在特定的波段范围形成干涉增强，提高反射率；需要降低光学表面的粗糙度，提高反射率；减少所用光学表面的个数，减少较低的反射率损失，提高系统的能量传输效率。在紫外和远紫外波段可以使用金属反射镜，常用的有Al反射镜，但是，Al在空气中极易氧化，需要在铝膜上镀MgF2保护膜，保证在紫外和远紫外波段长期使用。也可以使用金、铂等贵金属反射镜，可以提高在紫外-远紫外波段的反射率，且具有抗辐照、耐老化效果。