光学薄膜表征（measurement methods of optical thin film），工学-光学工程-材料与器件-光学薄膜-光学薄膜表征，反映光学薄膜性质的因素。光学薄膜表征由光学特性、光学参数、非光学特性组成。光学特性包含反射、透射、散射和吸收。光学参数包含折射率和厚度。非光学特性包含应力、附着力、组分和结构。光学薄膜表征评判光学薄膜的各种性能。测量光学薄膜透射率的实验方法是光谱仪测量；采用单次反射法测试薄膜反射率或V-W光路测试薄膜反射率；利用光声光谱法或光热光谱偏转法等技术手段测量薄膜的吸收；通过构建薄膜的相关模型，如有非相关的表面粗糙度模型、附加表面粗糙度模型（部分相关模型）等来计算薄膜的散射。由干涉法测量薄膜的厚度和折射率，光的干涉条纹方程：对于不透明膜对于透明膜式中为条纹错位条纹数；为条纹错位量；为条纹间隔；通过测量从而计算薄膜的厚度。通过阿贝法（又称布儒斯特角法）测薄膜的折射率，当一束平行光以膜层的布儒斯特角（）入射时，空白基板表面和镀膜表面对P偏振光的反射率是相同的，则有。