微机电陀螺仪

微机电陀螺仪（MEMS gyroscope），工学-航空宇航科学与技术-航天-导航、制导与控制-导航-惯性导航系统-陀螺仪-微机电陀螺仪，20世纪80年代发展起来的利用微机电加工技术制造而成的陀螺仪。微机电陀螺仪理论基础是经典力学中的科里奥利效应：即系统中以速度运动的质量，存在角速度时，便产生哥氏力。科里奥利效应以微电子技术和微机械加工为技术基础的微机电陀螺仪，其主体是一个作高频微幅振动的元件，利用高速振动的质量在被基座带动旋转时所产生的科里奥利效应来敏感角运动。同刚体转子陀螺仪相比，由于它没有高速旋转的转子和相应的支承系统，因而体积大为缩小，质量大为减轻，功耗大幅度降低；由于加工简单，无须复杂的装调工艺，可大批量生产，故价格低；另外还具有易于数字化和智能化、测量范围大等特点。微机电陀螺仪已经逐步从低精度商业和消费类仪表的应用领域进入到中等、高精度惯性仪表的应用领域，并且依靠其不同于传统机械式仪表的固有特性被广泛应用到各种现代新式武器和商业领域中。