锂磷氮氧化物（lithium phosphorous oxynitride），工学-材料科学与工程-能源材料-[新能源材料]-锂离子电池，一种稳定的无机电解质。简称LIPON。呈现玻璃态，其室温电导率达2×10-6西/厘米，电化学稳定窗口为0～5伏。固态电解质锂磷氮氧化物的一般化学组成为LixPOyNz（x＞0.5，0＜y＜3，z＞0）。如Li0.99PO2.55N0.30、Li1.24PO2.24N0.58、Li1.41PO2.41N0.53、Li0.88PO2.31N0.42等。含氮量越大，导电率越高。当N/P=0，导电率为2.5×10-9西/厘米。当N/P=0.58，导电率为3.7×10-7西厘米。另外也与锂的含量也有关，含锂量越大，导电率越高。如Li3.3PO3.9N0.17的导电率为2×10-6西/厘米。通过射频（RF）溅射磷酸锂（Li3PO4）靶，在氮气或氩气和氮气环境下能够反应性沉积LIPON薄膜。