激光参数检测（laser parameter detection），工学-光学工程-光学应用-光刻技术-光刻机-光刻光源，在光刻光源投入使用前，对光刻激光性能参数进行准确检测评估，并在使用过程中实时监测控制。与光刻系统成本、光刻质量、成品率、效率和设备利用率等密切相关。激光参数检测主要包括光谱参数、能量参数和光束特性参数。将光刻光源的光谱参数、能量参数和光束特性参数测试单元集成，并密封于高纯氮气环境中，建立光刻光源激光参数集成化检测系统。光刻光源激光参数集成化检测系统实现光刻光源激光参数的同步采集与分析，分析各激光器输出参数之间可能存在的关联性以及各参数与激光器电源、重复率等参数的关系，优化激光器的各项技术指标以满足微电子光刻使用要求提供可靠的测试数据。