功能陶瓷薄膜（functional ceramic films），工学-材料科学与工程-无机非金属材料-陶瓷-先进陶瓷-功能陶瓷，通过物理方法或化学方法，在基材表面形成厚度小于10微米而仍能保持陶瓷优越性能的一类新型陶瓷材料。制备制备功能陶瓷薄膜的材料有氧化铝、氧化硅和氮化硅等，主要是在某一表面形成这些材料的涂层，以获得耐腐蚀、耐磨损功能。功能陶瓷薄膜的制备方法可分为物理方法和化学方法。①物理方法，主要包括真空热蒸发、直流和射频溅射、脉冲激光沉积以及分子束外延等。②化学方法，主要包括喷雾热解、化学气相沉积、溶胶–凝胶及金属有机化合物气相沉积等。可以根据不同的材料对象和应用目标选择合适的制备方法，制备出高质量功能陶瓷薄膜。