扫描热显微镜（scanning thermal microscope; SThM），工学-工程热物理及动力工程-工程热物理-传热传质学-测试方法与技术-温度测量，一种通过探针扫描技术开展热探测从而测量样品表面温度的仪器。主要用于纳米尺度样品表面温度的测量，并以此开展样品表面热成像及相关热物理性质研究，属于研究级测量仪器。扫描热显微镜的概念最早于1986年由美国IBM沃森研究中心的C.C.威廉姆斯和H.K.魏克拉玛辛诃提出。早期以扫描隧道显微镜作为测量平台，后期发展为基于原子力显微镜的平台。扫描隧道显微镜要求被测样品有导电性，对扫描热显微镜的应用产生一定的局限性。原子力显微镜对样品的导电性质没有要求，具有更大的适用范围。