射频等离子体

射频等离子体（radio frequency plasma），理学-物理学-等离子体物理学-气体放电，由射频电磁场（2～200兆赫）激励气体放电产生的等离子体。包括容性耦合等离子体、感性耦合等离子体和螺旋波等离子体。射频电磁场以某种方式把能量传给等离子体中的电子，那些获得能量的高能电子与气体分子碰撞，并使气体分子激发和电离，从而维持气体放电。