材料超提纯（ultrapurification of materials），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-材料超提纯，制备超纯材料的技术。极微量的杂质就会引起半导体性能明显的变化。因此，要控制半导体的性质，首先就要把材料提纯到尽可能高的纯度，使之成为超纯物质，再在超纯材料中人为地掺入适量的某种杂质，方能获得具有所需性能的半导体材料。半导体材料所要求的纯度大大超过了一般化学试剂的纯度。材料的纯度一般采用百分含量表示。例如99.99%，通常又称为4个9。表示杂质则用浓度十进分数单位的指数乘方方法，例如10-4表示杂质含量为万分之一。高纯材料中元素半导体锗、硅是已知能达到最高纯度的超纯材料。半导体用锗和硅的纯度一般应在8个9以上。实验室可研制出更高纯度的锗、硅。砷、磷等其他元素的高度提纯较困难，一般只能达到5～6个9，镓可提纯到8个9。化合物半导体组元的纯度不如元素半导体锗、硅的高，致使多数化合物半导体的纯度还有待提高。半导体工业中还需要很多高纯的辅助材料，如高纯石英、高纯石墨、高纯氮化硼、高纯水以及各种高纯气体（如氢气、氩气、硅烷、乙硼烷等）。