航天微机电（aerospace micro-electro-mechanical system ），工学-航空宇航科学与技术-航天-航天综合电子技术-航天微机电，面向各类导弹、运载火箭、卫星、飞船、深空探测器等空间飞行器应用，基于微机电系统（MEMS）技术而设计、制造的具有小型化、微型化特征，尺寸可达亚微米级，具有智能化的功能单元或系统。航天微机电在空间飞行器中的应用包括制导和个人导航的惯性组合，超小型无线信号的机电信号处理、信号跟踪、环境监控，小型分析仪器，高密度、低功耗的集成流量系统等。除此之外，很多航天微机电机器人也应运而生，固定型微机器人、机动式微机器人、生物型微机器人等的发展可能改变未来空间飞行器的形态。航天微机电包含的单元构件主要有：①微型机械构件。为微机电系统中微型或小型机械设备的主要构件，主要包括微齿轮、微弹簧、微控针、微梁、微轴、微连杆等。②微型传感器。MEMS的一个重要组成部分，正朝着集成化和智能化的方向发展。技术成熟或处于研发阶段的微型传感器包括电量、磁场、力矩、加速度、流量、离子浓度传感器等。③微型执行器。