电阻率测量

电阻率测量（resistivity measurement），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-半导体材料性能检测-[电学测量]-电阻率测量，对半导体材料电阻率的测量方法。电阻率是表征半导体材料特性的一个重要电学参数。在一定温度下，半导体电阻率的大小与材料补偿后的杂质浓度有关，因此它是器件设备所需的重要参数。通常固体材料使用电阻率来分类。半导体材料的电阻率范围为10-3～109欧·厘米，是介于导体（电阻率小于10-3欧·厘米）与绝缘体（电阻率大于109欧·厘米）之间的一种固体材料。平行于电流的电场强度与电流密度的关系为：（或）…（1）     式中为电阻率；为电导率，是电阻率的倒数。对于某些规则形状的样品（如圆柱形或矩形）的电阻，与样品长度成正比，与样品截面积成反比，关系式为：…（2）可通过标准的两探针法测量来获得。对于其他形状或薄层样品，测量电阻率的方法有四探针法、三探针法、扩展电阻法、范德堡法、无接触测量法等。为了保证电流密度与电场强度之间的线性关系，要求测量在弱电场伏/厘米和小电流（避免产生焦耳热）下进行。