气相制粉法（gas phase process），工学-材料科学与工程-金属-粉末冶金-粉末，直接利用气体，或者通过各种手段将物质转变为气体，使之在气体状态下发生物理变化或者化学反应，最后在冷却过程中凝聚长大形成粉体的方法。气相制粉法反应速度快，能够实现连续化生产，制备粉末纯度高、比表面积大、结晶度高、粒径分布均匀可控，可用于超细金属、合金、陶瓷或复合粉体的制备。气相反应在高温下瞬间完成，要求反应物料在极短时间内达到微观均匀混合，对反应器要求较高。典型的气相制粉法可包括化学气相沉积法（CVD）、蒸发冷凝法、羰基物热离解法、气相还原法等。①化学气相沉积法（CVD），以挥发性的金属卤化物、氢化物或有机金属化合物等物质的蒸气为原料，通过化学气相反应合成所需粉末。可以是单一化合物的热分解，也可以是两种及以上物质之间的气相反应。采用的加热方式可为电阻加热、等离子、激光、火焰等。该方法适用性最广，可用于制备金属粉体，以及硅化物、碳化物、硼化物、氮化物等化合物粉体材料，设备成本较低，能够实现连续化生产。