极紫外线光刻机
(生产大规模集成电路的核心设备)
极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。阿斯麦公司掌握了90%
用户数据
参数表
继承树
构成树
关注人数:
0
技点进度:
0
/
0
题库进度:
0
/
0
技能进度:
0
/
关注级别:
取消关注
【参数模块正在开发当中】