离子束增强沉积

离子束增强沉积（ion beam enhanced deposition，IBED），材料科学技术名词，电子束蒸发或溅射沉积薄膜的同时，用一定能量的离子束进行轰击，以在衬底上形成具有特定性能表面覆盖层的技术。