区融再结晶技术

区融再结晶技术，英语缩写 ZMR。通过区域熔化再结晶制备绝缘体上硅的技术。首先在生长有氧化物的硅片上化学气相淀积无定型硅或多晶硅，然后利用激光、电子束或石墨条加热器使其进行区域熔化再结晶形成绝缘体上硅材料。在三维集成电路中有应用前景。