硅基半导体材料

硅基半导体材料（silicon based semiconductor materials），材料科学技术名词，以硅材料为基础发展起来的新型材料。包括绝缘层上的硅材料、锗硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅为基底异质外延其他化合物半导体材料等。