扫描电子显微术

扫描电子显微术（scanning electron microscopy，SEM），冶金学名词，电子显微术的一种。电子束以光栅状扫描方式照射试样表面，分析入射电子和试样表面物质相互作用产生的各种信息来研究试样表面微区形貌、成分和晶体学性质的技术。