激光扫描显微镜

激光扫描显微镜是一种用于材料科学领域的物理性能测试仪器，于2014年11月25日启用。1、测试功能：PROFIEL 形貌测量（精度）、线粗糙度和面粗糙度测量、磨耗对比测量等。Z向测量显示分辨率0.5nm；重复精度：0.012um；X向测量显示分辨率1nm，重复精度：0.02um；测量高度范围：0—7mm 2、扫描速度：面扫描：4-120Hz，线扫描：7900Hz 3、图像分辨率：130nm。