硅烷法多晶硅

（材料科学技术）
硅烷法多晶硅（polycrystalline silicon by silane process），材料科学技术名词，将高纯硅烷热分解制得的多晶硅。
用户数据
参数表
继承树
构成树
关注人数：
0
技点进度：
0/0
题库进度：
0/0
技能进度：
0/
关注级别：