电子束曝光机

（用于数学领域的分析仪器）
电子束曝光机是一种用于数学领域的分析仪器，于2007年01月01日启用。型号：日本电子JBX6300FS 加速电压：100KV 扫描频率：12MHZ 可加工最大样品：4英寸 对外服务加工精度：关键尺寸50nm以上。
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