原子力显微术

原子力显微术（atomic force microscope）是2019年公布的冶金学名词。使用原子力显微镜的电子显微分析技术。是扫描探针显微术中使用最为广泛的一种，常用于测量固体样品表面的实空间三维形貌。分辨率一般在几个纳米，要求样品表面的起伏小于1μm。