薄膜电阻材料

薄膜电阻材料（thin film resistance materials），材料科学技术名词，采用真空蒸镀、直流或交流溅射、化学沉积等方法制成的厚度一般在0.5~11m以下的膜式电阻材料。有Ni-Co系、Ta系、Si系、金属陶瓷系电阻膜以及Au-Cr、Ni-P等电阻薄膜。