原子层沉积器

原子层沉积器是一种用于材料科学领域的物理性能测试仪器，于2009年7月1日启用。1. 具有4路前驱体源，其中1路不加热，另3路加热温度≥200 ℃。 2. 样品基底最大直径4英寸。 3. 最大沉积温度不高于300 ℃。 4.设备使用氮气做载气，控制载气流量10-1000 sccm。