四氟硅烷

（无机物）

四氟硅烷，有机硅化合物的合成材料，水泥和人造大理石的硬化剂，氟硅酸及氟化硅的制造，硅的外延生长，等离子蚀刻，太阳能电池，复印机感光筒，非晶硅膜生成，化学气相淀积。另外，氟硅烷还用于超疏水表面的修饰。