光谱技术（optical spectroscopy），工学-光学工程-光学应用-光学测量-微纳米测量-光谱技术，利用光与物质的相互作用，如物质对光的吸收、反射、散射或受激光激发等现象，通过测量光经过物质前后相关属性的变化量，研究物质的物理、化学性质的一种方法。在微纳科学与技术中，光谱技术具有测量灵敏度高、测量信息丰富等特点，是研究物质成分、晶体或分子结构、表面或界面特性、微结构表面形貌或粗糙度等的重要测试手段。现代光谱技术的发展可追溯到1666年I.牛顿通过玻璃三棱镜将太阳光分解成从红光到紫光的各种颜色的顺序排列。1802年，W.H.沃拉斯顿采用窄狭缝发现太阳光谱中的7条暗线。1859年，G.R.基尔霍夫和R.W.本生研制了第一台实用的光谱仪。1882年罗兰发明平面和凹面光栅，在简化光谱仪器结构的同时，提高了光谱测量性能。由于计算机技术、电子技术和激光技术的发展，光谱技术及仪器在1960年之后取得了飞速发展。中国第一台中型石英摄谱仪于1958年问世，1971～1972年由北京第二光学仪器厂研究成功国内第一台WZG—200平面光栅光量计。