波长定标(wavelength scaling),工学-光学工程-光学传输-紫外光学-紫外-极紫外光学系统检测与定标-[光谱定标]-波长定标,标定波长准确性和标定仪器的相对光谱分布的过程。在紫外-极紫外波段通常采用气体放电光源作为光谱定标光源,一般原子离子谱线其光谱宽度很窄,只有百分之几纳米量级,是很好的波长标准。常用的气体放电光源有低压汞灯、空心阴极光源、潘宁光源、微波激励光源等,这些光源均可以产生工作气体和靶材的不同跃迁状态的线谱。且这类小型气体放电光源具有体积小、功耗低、操作简单、光谱辐射稳定的优点,可以更换不同工作气体产生稳定的紫外-极紫外波段线谱辐射,是很好的光谱定标光源,覆盖紫外-极紫外波段。常用的气体放电光源的工作气体有惰性气体、氮气、氢气和汞蒸汽等,具体见表。表中列出在极紫外-远紫外波段部分常用的辐射亮度较高的气体线谱。